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大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
caj(23894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：249/0  |  提交时间：2019/09/23
光栅刻划机  机刻光栅  研磨加工  传动精度测量  宏微双重驱动  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:  唐玉国;  巴音贺希格;  竺长安;  金一
收藏  |  浏览/下载：217/0  |  提交时间：2019/09/17
大面积光栅  刻划光栅  光栅刻划机  超精密制造  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
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Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching