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| 梦之线光栅单色器温度起伏对能量漂移的影响 期刊论文 光学精密工程, 2018, 期号: 09, 页码: 2313-2319 作者: 陈家华; 邹鹰; 卢启鹏; 王勇; 薛松 收藏  |  浏览/下载:229/0  |  提交时间:2019/09/17 光栅单色器 温度起伏 能量漂移 气体吸收谱 能量分辨率 |
| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816 作者: 陈家华; 龚学鹏; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依 caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:465/121  |  提交时间:2018/04/09 同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150 作者: 龚学鹏; 卢启鹏; 彭忠琦 caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:268/106  |  提交时间:2015/04/17 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |
| 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747 作者: 高飒飒; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏 caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:457/130  |  提交时间:2014/03/07 X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 |
| 谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 03, 页码: 514-519 作者: 马磊; 卢启鹏; 彭忠琦 caj(363Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:486/105  |  提交时间:2013/03/11 变包含角平面光栅单色仪 谱学显微光束线 光斑水平漂移 误差分析 |
| 变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测 期刊论文 光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 7, 页码: 1548-1553 作者: 卢启鹏; 马磊; 彭忠琦 caj(512Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:363/58  |  提交时间:2012/09/25 |
| 六杆并联机构运动学正解研究及其在同步辐射光束线中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2008, 期号: 10 作者: 卢启鹏; 彭忠崎 caj(201Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:323/93  |  提交时间:2012/09/25 |
| BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 期刊论文 光学精密工程, 1993, 期号: 01, 页码: 13-21 作者: 邵景鸿; 徐正良 caj(934Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:382/66  |  提交时间:2013/03/11 X射线光刻 光束线 真空 扫描 铍窗 |