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梦之线光栅单色器温度起伏对能量漂移的影响 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 09, 页码: 2313-2319
作者:  陈家华;  邹鹰;  卢启鹏;  王勇;  薛松
收藏  |  浏览/下载:229/0  |  提交时间:2019/09/17
光栅单色器  温度起伏  能量漂移  气体吸收谱  能量分辨率  
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:  陈家华;  龚学鹏;  薛松;  卢启鹏;  彭忠琦;  宋源;  王依
caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:465/121  |  提交时间:2018/04/09
同步辐射  光发射电子显微镜(Peem)  X射线显微镜  Kb镜  结构设计  
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:268/106  |  提交时间:2015/04/17
上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:457/130  |  提交时间:2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 03, 页码: 514-519
作者:  马磊;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(363Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:486/105  |  提交时间:2013/03/11
变包含角平面光栅单色仪  谱学显微光束线  光斑水平漂移  误差分析  
变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 7, 页码: 1548-1553
作者:  卢启鹏;  马磊;  彭忠琦
caj(512Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:363/58  |  提交时间:2012/09/25
六杆并联机构运动学正解研究及其在同步辐射光束线中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  卢启鹏;  彭忠崎
caj(201Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:323/93  |  提交时间:2012/09/25
BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 01, 页码: 13-21
作者:  邵景鸿;  徐正良
caj(934Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:382/66  |  提交时间:2013/03/11
X射线光刻  光束线  真空  扫描  铍窗