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一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  张海涛;  于杰;  马冬梅;  金春水
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高精度光学元件面形检测工装夹具 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210199493.7, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  田伟;  王汝冬;  王平;  王立朋;  隋永新
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一种间隙自适应抛光磨头 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110452719.5, 申请日期: 2014-06-18, 公开日期: 2014-06-18
发明人:  王君林;  王绍治
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一种去除碳化硅基底上硅厚膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310066232.2, 申请日期: 2014-06-18, 公开日期: 2014-06-18
发明人:  王彤彤;  高劲松;  王笑夷
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用于CCOS加工过程中防止磨头发生翻转的装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210277706.3, 申请日期: 2014-05-28, 公开日期: 2014-05-28
发明人:  王旭;  李锐钢;  郑立功
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一种角度自适应抛光磨头 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110452754.7, 申请日期: 2014-01-15, 公开日期: 2014-01-15
发明人:  王君林;  王绍治;  刘健;  马占龙;  张玲花
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用于光学加工的真空自励研磨抛光工具 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2352308, 申请日期: 1999-12-08, 公开日期: 1999-12-08
发明人:  张忠玉;  余景池
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