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单元超透镜模式分析及其亚波长成像特性研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 12, 页码: 71-75
作者:  余慕欣;  周文超;  吴一辉
caj(607Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/108  |  提交时间：2015/04/17
图像处理  超分辨  薄膜  表面等离子体  金属光学  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/73  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：484/175  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/103  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法