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基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  李文昊;  巴音贺希格;  齐向东
caj(275Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/75  |  提交时间：2012/09/25
全息光栅  光刻胶热熔法  离子束刻蚀  原子力显微镜  
平面微电机定子线圈制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 3, 期号: 3, 页码: 27
作者:  吴一辉;  王淑荣
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/65  |  提交时间：2012/09/25
极紫外投影光刻掩模技术 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 03, 页码: 16-21+41
作者:  杨雄;  金春水;  曹健林
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：368/66  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  投影光刻  多层膜  掩模  
六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳;  田兴志
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/46  |  提交时间：2013/03/11
光刻  磁悬浮  X-y工件台  定位精度  步进扫描  逐场调平调焦  
用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性 期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46
作者:  王占山;  刘毅楠;  曹健林
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/59  |  提交时间：2013/03/11
接触式显微术  光刻胶  溶解速率  
DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量 期刊论文
微细加工技术, 1995, 期号: 04, 页码: 11-14
作者:  郭玉彬
caj(137Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/78  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  光刻胶  感光灵敏度  
X射线聚束透镜原理及其应用 期刊论文
微细加工技术, 1994, 期号: 04, 页码: 1-6
作者:  郭玉彬;  李福田
caj(185Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/92  |  提交时间：2013/03/11
X射线  透镜  光刻