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Speckle pattern sequential extraction metric for estimating the focus spot size on a remote diffuse target 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 32
作者:  Yu, Z.;  Y. Y. Li;  L. S. Liu;  J. Guo;  T. F. Wang and G. Q. Yang
Adobe PDF(1473Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：303/90  |  提交时间：2018/06/13
Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 2
作者:  Yang, J.;  R. Zhang;  L. Yin;  C. Sun and T. J. Li
Adobe PDF(1770Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：275/80  |  提交时间：2018/06/13
Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
Adobe PDF(1006Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/104  |  提交时间：2018/06/13
Ruling of echelles and gratings with a diamond tool by the torque equilibrium method 期刊论文
Applied Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 28
作者:  Jirigalantu;  X. T. Li;  S. W. Zhang;  X. T. Mi;  J. X. Gao;  Bayanheshig;  X. D. Qi and Y. G. Tang
Adobe PDF(1388Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/73  |  提交时间：2017/09/11
Influence of substrate temperatures on the properties of GdF3 thin films with quarter-wave thickness in the ultraviolet region 期刊论文
Applied Optics, 2015, 卷号: 54, 期号: 16, 页码: 5117-5122
作者:  Jin, J. C.;  C. S. Jin;  C. Li;  W. Y. Deng and S. Yao
Adobe PDF(684Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：247/87  |  提交时间：2016/07/15
Dual-rotor tool path generation and removal error analysis in active feed polishing 期刊论文
Applied Optics, 2013, 卷号: 52, 期号: 28
作者:  Wang S.;  Liu J.;  Zhang L.
Adobe PDF(1497Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/113  |  提交时间：2014/05/14
Super-smooth surface fabrication technique and experimental research 期刊论文
Applied Optics, 2012, 卷号: 51, 期号: 27, 页码: 6612-6617
作者:  Zhang L. H.;  Wang J. L.;  Zhang J.
Adobe PDF(589Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/20  |  提交时间：2013/03/27
Finite element analysis simulation and experimental verification of the stressed lap's deformation accuracy 期刊论文
Applied Optics, 2011, 卷号: 50, 期号: 5, 页码: 782-787
作者:  Zheng LG(郑立功);  Zhang XJ(张学军)
Adobe PDF(1152Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：515/32  |  提交时间：2012/05/12
Theoretical study on removal rate and surface roughness in grinding a RB-SiC mirror with a fixed abrasive 期刊论文
Applied Optics, 2009, 卷号: 48, 期号: 5, 页码: 904-910
作者:  Wang X.;  Zhang X. J.
Adobe PDF(725Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：488/106  |  提交时间：2012/10/21