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| Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8 作者: Kuang, S.-Q.; C. Zhang; Y.-M. Wang; X.-Y. Zhou and Y. Xie 浏览  |  Adobe PDF(867Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:330/106  |  提交时间:2018/06/13 |
| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3 作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao 浏览  |  Adobe PDF(284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:404/131  |  提交时间:2018/06/13 |
| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11 作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng 浏览  |  Adobe PDF(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:319/118  |  提交时间:2018/06/13 |
| Image quality evaluation of Wolter X-ray nested telescope 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 3 作者: Zhao, D.; B. Chen; P. Liu and L. He 浏览  |  Adobe PDF(1495Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:364/86  |  提交时间:2017/09/11 |
| Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4 作者: Yu, B.; C. Li; C. Jin and C. Wang 浏览  |  Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:351/75  |  提交时间:2017/09/11 |
| 偏振发光二极管的设计研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 周昂 Adobe PDF(2857Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:334/3  |  提交时间:2016/04/11 发光二极管 光子晶体 偏振层 液晶 可调谐器件 数值模拟 |
| 远紫外感应式阳极光子计数成像探测器研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 韩素立 Adobe PDF(3119Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:421/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 常艳贺 Adobe PDF(4081Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:612/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 亚波长介质光栅设计简化模式法的修正及相关研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 王斌 Adobe PDF(3606Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:395/2  |  提交时间:2014/08/21 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 鹿国庆 Adobe PDF(1786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:490/1  |  提交时间:2014/08/21 |