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极紫外投影光刻掩模技术 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 03, 页码: 16-21+41
作者:  杨雄;  金春水;  曹健林
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/67  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  投影光刻  多层膜  掩模  
极紫外望远镜各通道夹角的测量 期刊论文
光学技术, 2003, 期号: 05, 页码: 552-554
作者:  苏宙平;  陈波
caj(40Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/60  |  提交时间：2013/03/11
极紫外望远镜  边缘探测  亚像元  
偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 期刊论文
光学仪器, 2003, 期号: 04, 页码: 39-43
作者:  林强;  金春水;  向鹏;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(87Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/68  |  提交时间：2013/03/11
极紫外投影光刻  Schwarzschild投影物镜  计算机辅助装调  
空间软X射线/极紫外波段正入射望远镜研究 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 04, 页码: 315-319
作者:  陈波;  尼启良;  曹继红;  巩岩;  曹健林
caj(61Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：349/52  |  提交时间：2013/03/11
空间  软x射线  极紫外  多层膜  望远镜  
一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台 期刊论文
测试技术学报, 2003, 期号: 02, 页码: 138-140
作者:  解滨;  尼启良;  巩岩;  曹继红;  陈波
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：300/70  |  提交时间：2013/03/11
极紫外多层膜  反射率  步进电机  平台  
离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 144-150
作者:  林强;  金春水;  向鹏;  曹健林
caj(205Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/61  |  提交时间：2013/03/11
极紫外投影光刻  光学系统装调  奇异值分解