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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:
Wang, Y.
;
Q. Lu and Y. Gao
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提交时间:2018/06/13
紫外临边成像光谱仪的热控制技术研究
学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:
宋昕
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提交时间:2014/08/21
基于反射镜表面粗糙度计算极紫外望远镜分辨率
期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 2565-2572
作者:
陈波
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提交时间:2012/05/11
用激光外差技术高精度测量目标速度
期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 10, 页码: 2366-2373
作者:
张合勇
;
郭劲
;
刘宏波
;
赵帅
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提交时间:2012/05/11
极紫外多层膜光栅技术研究进展
期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8
作者:
张立超
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提交时间:2012/05/11
空间太阳望远镜在紫外波段成像检测中的杂散光测量和消除
期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 7, 页码: 1456-1463
作者:
陈波
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提交时间:2012/05/11
极紫外望远镜角分辨率评价方法
期刊论文
光学精密工程, 2007, 期号: 11
作者:
陈波
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提交时间:2012/09/25
极紫外望远镜各通道夹角的测量
期刊论文
光学技术, 2003, 期号: 05, 页码: 552-554
作者:
苏宙平
;
陈波
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提交时间:2013/03/11
极紫外望远镜
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