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高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 438-439
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(37Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/77  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅刻划机  双重定位  间歇式  连续式  
高精度的光电式衍射光栅刻划机 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 103-104
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(31Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/87  |  提交时间：2013/03/11
光栅刻划机  控制原理  对比  
柱面图形光学刻划的研究 期刊论文
仪器仪表学报, 1999, 期号: 01, 页码: 97-99
作者:  付永启;  赵兴国;  赵晶丽
caj(49Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/66  |  提交时间：2013/03/11
柱面图形  光学刻划  
接近式光刻刻划间隙的确定 期刊论文
仪器仪表学报, 1997, 期号: 04, 页码: 81-84+97
作者:  付永启
caj(76Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/71  |  提交时间：2013/03/11
刻划间隙:7286  接近式光刻:5937  刻线质量:2182  线密度:1418  光强度分布:1194  菲涅耳衍射:1113  掩模板:949  衍射效应:715  泰伯效应:634  定量分析:622  
圆刻机轴系动态精度分析 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: 04, 页码: 386-390+407
作者:  付永启;  张作梅
caj(161Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：399/47  |  提交时间：2013/03/11
圆光栅  码盘  连续刻划  精度分析  
衍射光栅刻划机分度误差的实时测量 期刊论文
仪器仪表学报, 1993, 期号: 04, 页码: 408-411
作者:  杨厚民;  王晓琳
caj(168Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：464/87  |  提交时间：2013/03/12
分度误差:6432  衍射光栅刻划机:5052  实时测量:5031  理论分析:1780  均匀性误差:1158  分辨率:955  原理:837  不确定度:828  脉冲填充:694  鬼线:693