中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵磊 caj(8435Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：193/0 \| 提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜像质补偿技术柔顺微动机构主动变形镜
	Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文 Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663 作者: Zhao, L.; Dong, L. J.; Yu, X. F.; Li, P. Z.; Qiao, Y. F. 浏览 \| Adobe PDF(2985Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：340/110 \| 提交时间：2019/09/17 adaptive optics deformable mirror performance simulation systems design Optics

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