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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Design of off-plane Offner spectrometer with high spectral resolution 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 2
作者:  Gao, Z.;  W. Fang;  B. Song;  M. Jiang and Y. Wang
Adobe PDF(1413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/95  |  提交时间：2017/09/11
An accurate method for measuring interference fringe period in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 7
作者:  Jiang, S.;  Bayanheshig;  M. Pan;  W. Li and Y. Song
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：273/54  |  提交时间：2016/08/24
Effect of period setting value on printed phase in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 9
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Li W.;  Song Y.;  Pan M.
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：373/55  |  提交时间：2015/04/24
Effect of measured interference fringe period error on groove profile of grating masks in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 4
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Song Y.;  Pan M.;  Li W.
Adobe PDF(4154Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：495/78  |  提交时间：2015/04/24