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平面微电机定子线圈制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 3, 期号: 3, 页码: 27
作者:  吴一辉;  王淑荣
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：463/65  |  提交时间：2012/09/25
一种PDMS微混合器的制备及性能分析 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  李淑娴;  吴一辉;  贾宏光;  张平;  王淑荣;  宣明
caj(291Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/61  |  提交时间：2012/09/25
微混合器  Pdms  模压  透射比  混合  
基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:  刘利娜;  贾宏光;  王淑荣;  吴一辉
caj(70Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/74  |  提交时间：2012/09/25
微全分析系统  双功能温控芯片  Mems  温度控制  
用于微摩擦测试的微力传感器及其制作 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 03, 页码: 65-69
作者:  黎海文;  吴一辉;  李也凡;  张平;  王淑荣;  贾宏光
caj(69Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/61  |  提交时间：2013/03/11
Mems  微摩擦测试  微力传感器  
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/56  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  Mems  湿法腐蚀  
PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 02, 页码: 54-58
作者:  白兰;  吴一辉;  张平;  王淑荣
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/62  |  提交时间：2013/03/11
微泵  Pdms薄膜  Ndfeb薄片  电磁驱动  
双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:  梁静秋;  郭占社;  吴一辉;  王淑荣;  张平;  宣明
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：428/82  |  提交时间：2013/03/11
双转子  平面微电机  定子  孔引线  准liga技术