Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作 | |
刘利娜; 贾宏光; 王淑荣 ; 吴一辉
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| 2006-06-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
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| ISSN | 1003-8213 |
| 期号 | 2 |
| 摘要 | 为满足微全分析系统集成化的发展要求,设计制造了一种微型温控芯片。该芯片以硅为基底,采用MEMS工艺集成了加热和温度传感双重功能。介绍了芯片的制作工艺,并对加热器和温度传感器的性能进行测试和分析,结果表明,该芯片加热响应迅速,温度传感器灵敏度高、线性度好。而且这种温控芯片体积小、结构简单,易于集成。 |
| 关键词 | 微全分析系统 双功能温控芯片 Mems 温度控制 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24189 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘利娜,贾宏光,王淑荣,等. 基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作[J]. 微细加工技术,2006(2). |
| APA | 刘利娜,贾宏光,王淑荣,&吴一辉.(2006).基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作.微细加工技术(2). |
| MLA | 刘利娜,et al."基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作".微细加工技术 .2(2006). |
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