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Research on compliance of compound circular-parabolic hinges 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2018, 卷号: 47, 期号: 11
作者:  Zhang, Wei;  Yang, Libao;  Li, Qingya;  Wang, Yan;  Wang, Jing
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Hinges  Calculations  Finite element method  Structural design  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
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Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
Study of influence of the removal depth of the silicon modification layer on grating structures in reaction-sintered silicon carbide substrate and improvement method 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 34, 页码: F1-F7
作者:  Shen, C.;  Tan, X.;  Jiao, Q. B.;  Zhang, W.;  Wang, T. T.;  Li, W. H.;  Wu, N.;  Qi, X. D.;  Bayan, H.
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thermal-oxidation  Optics  
Convex blazed grating of high diffraction efficiency fabricated by swing ion-beam etching method 期刊论文
Optics Express, 2018, 卷号: 26, 期号: 19, 页码: 25381-25398
作者:  Shen, C.;  Tan, X.;  Jiao, Q. B.;  Zhang, W.;  Wu, N.;  Bayan, H.;  Qi, X. D.
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imaging spectrometer  hyperspectral imager  ultraviolet  algorithm  alignment  design  Optics  
深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 11
作者:  张巍;  巩岩
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