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拼接式望远镜主镜主动支撑技术综述 期刊论文
激光与光电子学进展, 2021, 卷号: 58, 期号: 03, 页码: 80-91
作者:  吴松航;  董吉洪;  徐抒岩;  许博谦
浏览  |  Adobe PDF(3178Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：205/63  |  提交时间：2022/06/29
一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究 期刊论文
现代电子技术, 2020, 卷号: 43, 期号: 02, 页码: 14-16+19
作者:  王学亮;  彭吉;  徐立松;  李朋志;  陈雪;  郑楠;  李佩玥
浏览  |  Adobe PDF(1726Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/75  |  提交时间：2021/07/06
压电陶瓷  步进式驱动器  定位控制  负载实验  多项式拟合  数据分析  
Ultra-precision grinding and polishing method of large-scale Al2O3 ceramic guides 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 3, 页码: 663-669
作者:  J.Liu;  L.-M.Cai;  X.-K.Cheng;  G.-G.Gu;  Y.Yu
浏览  |  Adobe PDF(4167Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/89  |  提交时间：2020/08/24
Polishing,Alumina,Aluminum oxide,Ceramic materials,Efficiency,Grinding (machining),Grinding mills  
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/104  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
浏览  |  Adobe PDF(791Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：385/121  |  提交时间：2017/09/11