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粗糙度对极紫外投影光刻掩模的影响 期刊论文
光电工程, 2005, 期号: 10, 页码: 80-83
作者:  杨雄;  金春水;  姚志华;  曹健林
caj(1187Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/115  |  提交时间：2013/03/11
极紫外投影光刻  掩模  粗糙度  反射光谱  多层膜  
极紫外多层膜残余应力初步研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 期号: 03, 页码: 377-380
作者:  向鹏;  金春水;  张立超;  金伟华;  刘颖敏;  曹健林
caj(98Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：471/69  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  多层膜  残余应力  
Preparation and spectral properties of ORMOSIL films doped with neodymium organic complex 期刊论文
Surface & Coatings Technology, 2005, 卷号: 198, 期号: 1—3, 页码: 324-328
作者:  Wang H. S.;  Qian G. D.;  Wang Z. Y.;  Zhang H. H.;  Luo Y. S.;  Wang M. Q.
Adobe PDF(146Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：496/134  |  提交时间：2012/10/21
Polymer-ceramic conversion of liquid polyaluminasilazanes for SiAlCN ceramics 期刊论文
Journal of the American Ceramic Society, 2005, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 2415-2419
作者:  Dhamne A.;  Xu W. X.;  Fookes B. G.;  Fan Y.;  Zhang L. G.;  Burton S.;  Hu J. Z.;  Ford J.;  An L. A.
Adobe PDF(207Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：553/122  |  提交时间：2012/10/21
Mathematical model of spin-coated photoresist on a spherical substrate 期刊论文
Optics Express, 2005, 卷号: 13, 期号: 18, 页码: 7070-7075
作者:  Feng X. G.;  Sun L. C.
Adobe PDF(90Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：560/103  |  提交时间：2012/10/21
Soft X-ray reflectometer with laser produced plasma source 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2005, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 453-455
作者:  Chen B.;  Ni Q. L.;  Cao J. H.
caj(30Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：408/69  |  提交时间：2012/10/21
Oxidation of polymer-derived SiAlCN ceramics 期刊论文
Journal of the American Ceramic Society, 2005, 卷号: 88, 期号: 11, 页码: 3075-3080
作者:  Wang Y. G.;  An L. N.;  Fan Y.;  Zhang L. G.;  Burton S.;  Gan Z. H.
Adobe PDF(245Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：656/201  |  提交时间：2012/10/21