Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外多层膜残余应力初步研究 | |
向鹏; 金春水 ; 张立超; 金伟华; 刘颖敏; 曹健林
| |
| 2005-03-15 | |
| 发表期刊 | 强激光与粒子束
 |
| 期号 | 03页码:377-380 |
| 关键词 | 极紫外 多层膜 残余应力 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28986 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向鹏,金春水,张立超,等. 极紫外多层膜残余应力初步研究[J]. 强激光与粒子束,2005(03):377-380. |
| APA | 向鹏,金春水,张立超,金伟华,刘颖敏,&曹健林.(2005).极紫外多层膜残余应力初步研究.强激光与粒子束(03),377-380. |
| MLA | 向鹏,et al."极紫外多层膜残余应力初步研究".强激光与粒子束 .03(2005):377-380. |
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