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光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/79  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法  
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/101  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性  
全天时机载星跟踪器镜头设计 期刊论文
光子学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 12
作者:  张立平;  王智;  乔克
Unknown(548Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：498/186  |  提交时间：2012/09/25