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长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展 期刊论文
硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556
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caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/98  |  提交时间：2016/07/06
高精度控制  应用光学  光机所  遗传算法  控制精度  面形误差  国家重点实验室  分布控制  磁控溅射  投影物镜  
离子束抛光高陡度离轴非球面的去除函数修正 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 06, 页码: 1572-1579
作者:  唐瓦;  邓伟杰;  李锐钢;  郑立功;  张学军
caj(398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：273/113  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  离轴非球面  离子束抛光  溅射效应  去除函数  
高色散系数线性渐变滤光片的研制 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 05, 页码: 1221-1226
作者:  张建;  高劲松;  李玉东
caj(407Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：303/106  |  提交时间：2016/07/06
线性渐变滤光片  双离子束溅射  色散  透过率  膜厚修正  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：303/115  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
离子束抛光去除函数计算与抛光实验 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 01, 页码: 31-39
作者:  唐瓦;  邓伟杰;  郑立功;  张学军
caj(365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：240/109  |  提交时间：2016/07/06
光学加工  离子束抛光  溅射效应  法拉第杯扫描  去除函数