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具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:  赵磊;  彭海峰;  于新峰;  东立剑
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/84  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:  彭海峰;  巩岩;  赵磊
caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/88  |  提交时间：2014/03/07
光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析  
光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计 期刊论文
光电工程, 2011, 卷号: 38, 期号: 1, 页码: 60-63
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  赵磊;  倪明阳
Adobe PDF(1090Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：478/176  |  提交时间：2012/05/11