中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  毕丹丹
caj(4243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：245/0  |  提交时间：2019/09/23
光学薄膜  浸没式光刻  大角度保偏膜系  浸液环境寿命  激光辐照寿命  
高重频CO_2激光干扰技术研究 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 06, 页码: 983-990
作者:  陈健;  高慧斌
收藏  |  浏览/下载：185/0  |  提交时间：2019/09/17
激光干扰  干扰效果评估  损伤阈值  高重频  CO2激光器  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：317/123  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Research on the interference technology of high repetition frequency CO2 laser 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 983-990
作者:  Chen, Jian;  Gao, Hui-Bin
浏览  |  Adobe PDF(331Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：340/102  |  提交时间：2019/09/17
Laser damage  Carbon dioxide  Carbon dioxide lasers  Damage detection  Thin films