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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:331/0  |  提交时间:2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:  Dong, Guanji;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Feng, Peng;  Guo, Fudong;  Peng, Changzhe
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Interferometry  CCD cameras  Diffraction  Imaging systems  Measurement  Uncertainty analysis  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts