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Lymanα与可见光双波段内掩式日冕仪 期刊论文
光学精密工程, 2020, 卷号: 28, 期号: 02, 页码: 303-314
作者:  王蕴琦;  张广;  何玲平;  郭权锋;  张宏吉;  王海峰;  王孝东;  陈波
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光学仪器  日冕仪  Lymanα  可见光  双波段  内掩式  
适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 08, 页码: 1945-1953
作者:  姚东;  李钰鹏;  赵亚;  王智;  沙巍;  王永宪
收藏  |  浏览/下载：236/0  |  提交时间：2019/09/17
激光干涉仪  氢氧离子催化黏接  高精度测量  高精度装配  空间太极计划  
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/134  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜