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离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
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离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:  贺健康;  张立超;  才玺坤;  时光;  武潇野;  梅林
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:314/86  |  提交时间:2017/09/17
离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性  
大口径反射镜高反射膜研究进展 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 2, 页码: 203-212
作者:  孙梦至;  王彤彤;  王延超;  刘震;  刘海;  王笑夷;  杨海贵;  高劲松
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大口径  反射镜  高反射膜  环境适应性  
热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 808-815
作者:  才玺坤;  张立超;  梅林;  时光
caj(414Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:297/74  |  提交时间:2015/04/17
薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  应力  减反膜