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光栅精密位移测量技术发展综述 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752
作者:  高旭;  李舒航;  马庆林;  陈伟
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：174/74  |  提交时间：2020/08/24
位移测量  光栅  高精度测量  衍射干涉  
菲索干涉仪中精确移相的实现 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 02, 页码: 244-250
作者:  苏志德;  史振广;  彭吉;  隋永新;  杨怀江
caj(439Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/107  |  提交时间：2014/03/07
菲索干涉仪  移相系统  同步采集  面形测量  标定