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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Parameter calibration of 6-dof parallel mechanism using orthogonal displacement measurement system
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2021, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 316-328
作者:
L.-W. Yang
;
H. Bao
;
Y.-C. Fan
;
Z.-L. Li and D.-Y. Dong
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提交时间:2022/06/13
Overview of 2D grating displacement measurement technology
期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:
Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
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提交时间:2021/07/06
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:
Mi, X.
;
H. Yu
;
H. Yu
;
X. Qi
;
X. Li and Q. Wan
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提交时间:2018/06/13
Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者:
Zhang, D.
;
X. Li
;
C. Ge
;
M. Ni and K. Guo
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提交时间:2017/09/11
Linearity calibration platform of capacitive sensors
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:
Zhang, D.-F.
;
C. Ge
;
X.-L. Li
;
M.-Y. Ni and K. Guo
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提交时间:2017/09/11
Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988
作者:
Zhang, D.
;
C. Ge
;
X. Li
;
M. Ni
;
K. Guo and P. Li
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提交时间:2016/08/24
提高光栅莫尔条纹信号质量的滤波方法
期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 1944-1949
作者:
吴宏圣
;
曾琪峰
;
乔栋
;
郭帮辉
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提交时间:2012/05/11