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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知... [10]
作者
陈波 [1]
何玲平 [1]
王孝东 [1]
刘鹏 [1]
文献类型
期刊论文 [10]
发表日期
2019 [1]
2015 [1]
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软X射线掠入射望远镜的成像质量评价
期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 10, 页码: 2136-2143
作者:
刘鹏
;
陈波
;
张亚超
;
何玲平
;
王孝东
caj(444Kb)
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浏览/下载:176/58
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提交时间:2020/08/24
X射线光学
掠入射望远镜
像质评价
表面散射
面形误差
平面圆孔微通道板用于X射线聚光的理论预测
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 09, 页码: 394-402
作者:
赵大春
;
陈波
;
刘鹏
;
张宏吉
caj(1569Kb)
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浏览/下载:309/126
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提交时间:2016/07/06
X射线光学
微通道板
相对光照度增益
Trace Pro仿真
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:
高飒飒
;
卢启鹏
;
彭忠琦
;
龚学鹏
caj(977Kb)
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浏览/下载:764/176
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
功率密度分布
热平衡
面形误差
有限元分析
极紫外光刻离轴照明技术研究
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:
王君
;
金春水
;
王丽萍
;
卢增雄
caj(583Kb)
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浏览/下载:636/128
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
极紫外光刻
分辨率增强
离轴照明阴影效应
光刻胶
方孔微通道板结构缺陷对成像质量的影响
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 92-101
作者:
李旭
;
何飞
;
李达
;
陈波
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浏览/下载:830/157
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提交时间:2013/03/11
成像系统
X射线光学
微通道板
光线追迹
结构缺陷
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备
期刊论文
光学学报, 2005, 期号: 10, 页码: 139-141
作者:
姚志华
;
金春水
;
杨雄
;
张立超
;
金伟华
;
曹健林
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浏览/下载:511/98
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
宽带多层膜
评价函数
遗传算法
磁控溅射
高能X射线聚焦组合透镜的理论研究
期刊论文
光学学报, 2004, 期号: 04, 页码: 572-576
作者:
乐孜纯
;
梁静秋
caj(77Kb)
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浏览/下载:851/109
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
X射线聚焦组合透镜
衍射屏函数
二阶中心矩
组合透镜结构参量
焦点光强分布
长波长软X射线多层膜的设计与制备
期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 04, 页码: 10-11
作者:
王国田
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浏览/下载:389/114
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提交时间:2013/03/11
多层膜:7841
软x射线:5696
长波长:1722
离子束:1191
反射率计:682
软x射线光学:620
反射镜:575
正入射:458
扩展x射线吸收精细结构:419
膜系设计:341
28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜
期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 200-203
作者:
王国田
;
马月英
;
曹健林
caj(60Kb)
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浏览/下载:439/83
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
多层膜反射镜
离子束溅射
光电子学与光电子产业专题系列介绍 用于X射线光学的多层膜
期刊论文
物理, 1991, 期号: 05, 页码: 288-291
作者:
曹健林
caj(233Kb)
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浏览/下载:501/88
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提交时间:2013/03/11
X射线多层膜:7003
X射线光学:4880
光电子产业:2969
光电子学:2348
波段:1785
多层膜反射镜:1659
反射率测量:1338
膜厚控制:1314
X射线激光:1311
软x射线:1269
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