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两档变焦距电视用摆动式镜组切换机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2018, 期号: 01, 页码: 84-91
作者:  徐新行;  张飞;  夏文波
收藏  |  浏览/下载：316/0  |  提交时间：2019/09/17
可见光电视  调焦  摆动式  切换机构  重复精度  
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载：134/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/139  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
六自由度Stewart平台空间解析及误差分析 期刊论文
机械传动, 2013, 期号: 02, 页码: 87-89+93
作者:  蒋梦捷;  张志宇;  郑立功;  张学军
caj(139Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/76  |  提交时间：2014/03/07
Stewart平台  位置逆解  工作区间  重复精度  
软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 02, 页码: 308-313
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/107  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  同步辐射  谱学显微  单色器  机械结构  重复精度