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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构
期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:
赵磊
;
彭海峰
;
于新峰
;
东立剑
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提交时间:2016/07/06
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形
大口径透镜多点柔性支撑结构设计与分析
期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 05, 页码: 88-94
作者:
马磊
;
曹佃生
;
刘承志
caj(503Kb)
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提交时间:2016/07/06
柔性支撑
透镜支撑
热变形
自重变形
有限元分析
光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 224-229
作者:
赵磊
;
巩岩
caj(1523Kb)
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提交时间:2013/03/11
光学器件
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形