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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:  赵永蓬;  徐强;  肖德龙;  丁宁;  谢耀;  李琦;  王骐
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极紫外光刻光源  毛细管放电  磁流体力学  Xe等离子体  
紫外光刻光源设计与分析 期刊论文
机械工程师, 2013, 期号: 06, 页码: 15-16
作者:  谭向全
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紫外光刻光源  散热  快门  位置调节