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基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：522/119  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制  
超精密摩擦传动机构 期刊论文
机械设计与研究, 2016, 期号: 4, 页码: 64-67
作者:  刘斌;  陈琦;  蔡黎明;  杨洪波;  于涌
caj(671Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/107  |  提交时间：2017/09/17
摩擦传动  超精密定位  定位精度  赫兹接触  
基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制 期刊论文
制造业自动化, 2016, 期号: 4, 页码: 140-142
作者:  陈昊;  陈琦
caj(301Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/105  |  提交时间：2017/09/17
直线光栅尺  摩擦驱动  精密定位  Pid控制  
压电驱动超精密定位工作台的研究 期刊论文
机械设计与研究, 2003, 期号: 02, 页码: 44-45+8
作者:  孙宝玉;  林洁琼;  王登月;  任建岳
caj(45Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：455/68  |  提交时间：2013/03/11
压电陶瓷微位移器件  精密定位  柔性铰链  线切割  
双维精密定位工件台数控系统的研究 期刊论文
光学精密工程, 1994, 期号: 04, 页码: 93-100
作者:  李树秋
caj(260Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/51  |  提交时间：2013/03/11
数控系统  细分  工件台  精密定位