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用于非球面检测的计算全息图制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵龙波
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计算全息图  非球面检测  激光直写  反应离子刻蚀  衍射光学元件加工  
利用去湿现象制备图案化的离子刻蚀聚合物保护层 期刊论文
高等学校化学学报, 2003, 期号: 12, 页码: 2390-2392
作者:  陆广;  曹召良;  卢振武;  李伟;  姚计敏;  张刚;  杨柏;  沈家骢
caj(93Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：404/80  |  提交时间：2013/03/11
聚合物  去湿  微接触印刷  自组装单层膜  离子刻蚀  
多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀 期刊论文
液晶与显示, 2002, 期号: 01, 页码: 59-64
作者:  王大海;  李轶华;  孙艳;  吴渊;  陈国军;  付国柱;  荆海;  万春明
caj(42Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：779/102  |  提交时间：2013/03/11
多晶硅薄膜晶体管  反应性离子刻蚀  刻蚀速率  选择比  
高效平面全息衍射光栅的获取方法 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 02, 页码: 109-114
作者:  赵博;  齐向东
caj(115Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/45  |  提交时间：2013/03/11
全息光栅  离子刻蚀  衍射效率  
离子刻蚀技术现状与未来发展 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 02, 页码: 8-15
作者:  任延同
caj(110Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/70  |  提交时间：2013/03/11
离子刻蚀技术  等子体刻蚀  反应离子刻蚀  离子束铣  聚焦离子刻蚀  
先进技术微通道板 （ＡＴ－ＭＣＰ） 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1996, 期号: 03, 页码: 26-29
作者:  姜德龙;  富丽晨;  李野;  卢耀华;  田景全;  王桂芬;  孟素英
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先进技术  微通道板  离子刻蚀  化学气相沉积