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剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
作者:  于长淞;  代雷
caj(439Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/127  |  提交时间：2015/04/17
相移干涉  精密相移系统  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  闭环控制  
激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术 期刊论文
航空精密制造技术, 2003, 期号: 02, 页码: 5-9
作者:  王金林;  陈明;  韩荣久;  刘伟奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;  吴清文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;  裴舒
caj(428Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：475/84  |  提交时间：2013/03/11
激光陀螺  浮法抛光  相移干涉  原子力显微镜  分形