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痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502
作者:  王军
caj(380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：232/106  |  提交时间：2016/07/06
截止点监测  痕量氢气  湿法刻蚀  中阶梯光栅  
硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394
作者:  焦庆斌
caj(225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/162  |  提交时间：2016/07/06
硅中阶梯光栅  湿法刻蚀  衍射效率  
小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292
作者:  焦庆斌
caj(265Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/112  |  提交时间：2016/07/06
紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀  
超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59
作者:  焦庆斌;  巴音贺希格;  谭鑫;  李艳茹;  朱继伟;  吴娜
caj(399Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/126  |  提交时间：2015/04/17
光栅  湿法刻蚀  表面粗糙度  超声波震荡  润湿性增强  
a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1998, 期号: 03, 页码: 51-53+79
作者:  王丽娟;  刘博林;  惠博然
caj(25Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/64  |  提交时间：2013/03/12
湿法刻蚀  针孔  钻蚀  
干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较 期刊论文
发光学报, 1998, 期号: 03, 页码: 80-82
作者:  王维彪;  金长春;  赵海峰;  王永珍;  殷秀华;  范希武;  梁静秋;  姚劲松
caj(43Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/83  |  提交时间：2013/03/11
硅微尖  冷阴极  干法刻蚀  湿法刻蚀