Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究 | |
| 王丽娟; 刘博林; 惠博然 | |
| 1998-09-30 | |
| 发表期刊 | 长春光学精密机械学院学报
 |
| 期号 | 03页码:51-53+79 |
| 关键词 | 湿法刻蚀 针孔 钻蚀 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32547 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王丽娟,刘博林,惠博然. a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究[J]. 长春光学精密机械学院学报,1998(03):51-53+79. |
| APA | 王丽娟,刘博林,&惠博然.(1998).a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究.长春光学精密机械学院学报(03),51-53+79. |
| MLA | 王丽娟,et al."a—Si TFT AMLCD中湿法刻蚀技术的研究".长春光学精密机械学院学报 .03(1998):51-53+79. |
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