Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较 | |
王维彪; 金长春; 赵海峰 ; 王永珍; 殷秀华; 范希武; 梁静秋; 姚劲松
| |
| 1998-09-20 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 03页码:80-82 |
| 关键词 | 硅微尖 冷阴极 干法刻蚀 湿法刻蚀 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31028 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王维彪,金长春,赵海峰,等. 干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较[J]. 发光学报,1998(03):80-82. |
| APA | 王维彪.,金长春.,赵海峰.,王永珍.,殷秀华.,...&姚劲松.(1998).干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较.发光学报(03),80-82. |
| MLA | 王维彪,et al."干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较".发光学报 .03(1998):80-82. |
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