中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/135  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/129  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率