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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：238/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：226/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/92  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原  
九步相移抗串扰算法的相移误差分析 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 21-23
作者:  方超
caj(1304Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：546/155  |  提交时间：2013/03/11
横向剪切干涉仪  九步相移算法  相移误差