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粗糙度对极紫外投影光刻掩模的影响 期刊论文
光电工程, 2005, 期号: 10, 页码: 80-83
作者:  杨雄;  金春水;  姚志华;  曹健林
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极紫外投影光刻  掩模  粗糙度  反射光谱  多层膜  
偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 期刊论文
光学仪器, 2003, 期号: 04, 页码: 39-43
作者:  林强;  金春水;  向鹏;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(87Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：459/86  |  提交时间：2013/03/11
极紫外投影光刻  Schwarzschild投影物镜  计算机辅助装调  
离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 144-150
作者:  林强;  金春水;  向鹏;  曹健林
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极紫外投影光刻  光学系统装调  奇异值分解  
极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者:  金春水;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(104Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/107  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜