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光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/123  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性  
纳米X－Y工作台固有频率特性的研究 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 06, 页码: 50-54
作者:  吴一辉;  杨洪波
caj(169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：635/55  |  提交时间：2013/03/11
纳米定位  X—y工作台  固有频率特性