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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [2]
作者
邓文渊 [2]
金春水 [2]
李春 [2]
喻波 [2]
姚舜 [2]
文献类型
期刊论文 [4]
发表日期
2020 [2]
2019 [1]
2014 [1]
语种
中文 [1]
出处
光学学报 [2]
机械设计 [1]
科学技术创新 [1]
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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
原子与分子物理学
分子动力学
反射
再溅射
Mo/Si原子
角度分布
能量分布
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
大功率半导体激光器散热研究综述
期刊论文
科学技术创新, 2019, 期号: 18, 页码: 19-20
作者:
曹宇
;
李克彬
;
窦洋
;
杨国涛
;
朱婉莹
;
郑权
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提交时间:2020/08/24
大功率
半导体激光器
方法
一种抓取月壤末端执行器的创新设计与评价
期刊论文
机械设计, 2014, 期号: 8, 页码: 24-28
作者:
李季
;
王炜
;
黎佳骏
;
陶建国
caj(425Kb)
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提交时间:2015/04/17
月壤表层采样
抓取式采样
末端执行器
创新设计
模糊评价