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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [2]
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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究
期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:
赵永蓬
;
徐强
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肖德龙
;
丁宁
;
谢耀
;
李琦
;
王骐
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提交时间:2014/03/07
极紫外光刻光源
毛细管放电
磁流体力学
Xe等离子体
提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究
期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2036-2040
作者:
谢耀
;
赵永蓬
;
王骐
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提交时间:2014/03/07
毛细管
软x射线激光
Xrd
Rowland谱仪
类氖氩