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高精度光学元件面形检测工装夹具 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210199493.7, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  田伟;  王汝冬;  王平;  王立朋;  隋永新
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一种大承载光学元件倾斜调整机构 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210091446.0, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋;  隋永新
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环形子孔径拼接检测中机械误差的分离 期刊论文
应用光学, 2013, 期号: 05, 页码: 825-830
作者:  张敏;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
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光学检测  环带子孔径拼接  机械误差  光线追迹  全局优化  
小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 08, 页码: 202-208
作者:  张健;  代雷;  王飞;  王立朋
caj(5580Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：471/106  |  提交时间：2014/03/07
光学制造  中频误差抑制  小磨头自适应抛光  Zernike残差  非球面  
支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋
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光学设计  光刻投影物镜  波前畸变  应力双折射  融石英  元件支撑  
振动对面形测量误差的影响分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 105-108
作者:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋
caj(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：716/170  |  提交时间：2013/03/11
测量  干涉测量  误差分析  振动  面形误差  
193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232
作者:  田伟;  王平;  王汝冬;  王立朋;  隋永新
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：576/174  |  提交时间：2013/03/11
应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法  
反射镜高精度装夹装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
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成像光谱仪辐射定标概览 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 12
作者:  王立朋
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Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 2100-2107
作者:  王平;  王汝冬;  田伟;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
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