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环形子孔径拼接检测中机械误差的分离 期刊论文
应用光学, 2013, 期号: 05, 页码: 825-830
作者:  张敏;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
caj(732Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：425/129  |  提交时间：2014/03/07
光学检测  环带子孔径拼接  机械误差  光线追迹  全局优化  
小磨头自适应抛光抑制高精度非球面中频误差 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 08, 页码: 202-208
作者:  张健;  代雷;  王飞;  王立朋
caj(5580Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/97  |  提交时间：2014/03/07
光学制造  中频误差抑制  小磨头自适应抛光  Zernike残差  非球面  
支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋
caj(913Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/120  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  光刻投影物镜  波前畸变  应力双折射  融石英  元件支撑  
振动对面形测量误差的影响分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 105-108
作者:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋
caj(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：530/147  |  提交时间：2013/03/11
测量  干涉测量  误差分析  振动  面形误差  
193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232
作者:  田伟;  王平;  王汝冬;  王立朋;  隋永新
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：507/138  |  提交时间：2013/03/11
应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法  
成像光谱仪辐射定标概览 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 12
作者:  王立朋
Adobe PDF(429Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：520/189  |  提交时间：2012/05/11
Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 2100-2107
作者:  王平;  王汝冬;  田伟;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1150Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：449/157  |  提交时间：2012/05/11
旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：561/178  |  提交时间：2012/05/11
标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计 期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 4, 页码: 380-387
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(570Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/75  |  提交时间：2012/05/11
温度变化对胶粘结透镜面形精度的影响 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 8, 页码: 0808002-1
作者:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1028Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：514/199  |  提交时间：2012/05/11