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摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15
作者:  王琼;  沈晨;  谭鑫;  齐向东;  巴音贺希格
caj(1030Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：490/46  |  提交时间：2020/08/24
凸面闪耀光栅  摆动刻蚀  衍射效率  成像光谱仪  
用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东
收藏  |  浏览/下载：278/0  |  提交时间：2019/09/17
衍射光栅  曲面闪耀光栅  光栅刻蚀  三维工作台  圆弧拟合算法  轨迹误差  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
浏览  |  Adobe PDF(1093Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/155  |  提交时间：2019/09/17
Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  沈晨
caj(7770Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：259/0  |  提交时间：2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机  三维工作台  凸面光栅  摆动刻蚀  硅改性RB-SiC  
基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
作者:  谭鑫;  沈晨;  吴娜;  张方程;  巴音贺希格
caj(754Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：535/153  |  提交时间：2014/03/07
凹面光栅  闪耀光栅  分区法  衍射效率  离子束刻蚀