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193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：785/164  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
微纳功能结构的椭圆振动金刚石切削技术 期刊论文
中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会, 2016
作者:  张建国;  崔涛;  葛成;  隋永新;  杨怀江
收藏  |  浏览/下载：374/0  |  提交时间：2017/09/17
铁基材料  椭圆振动切削  金刚石刀具  可控振幅雕刻  
基于微PCD刀具的微结构成型制造与应用 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2016, 期号: 4, 页码: 304-309
作者:  陈颖;  张建国;  张德福
caj(409Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/111  |  提交时间：2017/09/17
微结构  微pcd刀具  电火花线切割加工  微车削  
基于有限元法的齿轮齿条动态应力分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2008, 期号: 3
作者:  薛军;  孙宝玉;  辛宏伟;  张建国;  吴澜涛
caj(126Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：493/80  |  提交时间：2012/09/25
有限元  直齿轮齿条  动态应力