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| X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析 期刊论文 仪器仪表学报, 2015, 期号: 10, 页码: 2347-2354 作者: 龚学鹏; 卢启鹏 caj(1505Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:353/138  |  提交时间:2016/07/06 X射线干涉光刻 热分析 数值模拟 同步辐射 |
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150 作者: 龚学鹏; 卢启鹏; 彭忠琦 caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:310/120  |  提交时间:2015/04/17 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |
| 同步辐射光束线水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 高飒飒 Adobe PDF(5260Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:386/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 变包含角平面光栅单色器的光谱分辨率影响因素及相关检测技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 宋源 Adobe PDF(2262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:476/2  |  提交时间:2014/03/15 同步辐射 变包含角平面光栅 单色器 分辨率 聚焦常数 热分析 机械精度检测 |
| 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747 作者: 高飒飒; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏 caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:531/149  |  提交时间:2014/03/07 X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 |
| X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312 作者: 高飒飒; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏 caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:707/136  |  提交时间:2013/03/11 X射线光学 功率密度分布 热平衡 面形误差 有限元分析 |