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大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2019, 卷号: 42, 期号: 01, 页码: 49-53
作者:  周敬萱;  糜小涛;  张善文;  齐向东;  付新华
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天文光栅  蒸气发射特性  铝膜厚度均匀性  
大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  孙梦至
Adobe PDF(3757Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/3  |  提交时间：2016/04/11
中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  多步沉积