中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究
	周敬萱; 糜小涛; 张善文; 齐向东; 付新华
	2019
发表期刊	长春理工大学学报(自然科学版)
卷号	42期号:01页码:49-53
摘要	天文观测所使用的光栅为大尺寸中阶梯光栅,其制作方法是利用金刚石刻刀对铝膜进行加工,形成光栅槽形,所以铝膜的质量能够直接影响光栅的性能。铝膜的厚度均匀性是判断铝膜质量的重要指标,以现有的内径1.8米镀膜设备为例,对铝膜的厚度均匀性做理论分析和实验研究,得出了电子束制备铝膜的蒸气发射特性n为4.5,并确定了最佳的真空室布局:蒸发源位置l=500mm,工件架高度h=900mm。在直径680mm的镀膜面积范围内,铝膜的厚度均匀性可以达到±1%,满足大尺寸天文光栅研制对铝膜厚度均匀性的要求。
关键词	天文光栅 蒸气发射特性 铝膜厚度均匀性
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63744
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	周敬萱,糜小涛,张善文,等. 大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2019,42(01):49-53.
APA	周敬萱,糜小涛,张善文,齐向东,&付新华.(2019).大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究.长春理工大学学报(自然科学版),42(01),49-53.
MLA	周敬萱,et al."大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究".长春理工大学学报(自然科学版) 42.01(2019):49-53.

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大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究.caj（1739KB）	期刊论文	出版稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览 下载

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